Raster-Elektronen-Mikroskopie
kombinierbar mit Auger-Elektronen-Spektralanalyse und Oberfächenscans
Vieles auf der Oberfläche Ihrer Proben bleibt dem Auge verborgen, weil es zu
klein ist oder sich farblich nicht vom Sollzustand der Oberfläche
unterscheidet. Hier setzt die Elektronenmikroskopie als Analysenverfahren ein.
Bei der Elektronenmikroskopie wird ein Strahl von beschleunigten Elektronen als
"Lichtquelle" über das Objekt bewegt. Dieser Strahl löst auf der
Probe Sekundärelektronen aus, die wiederum durch eine Optik von
"magnetischen Linsen" gebündelt und auf den Detektor gelenkt werden.
Durch eine Analyse der gleichzeitig anfallenden Röntgenstrahlung von der Probe,
die durch Elemente ab Be (Ordnungszahl 4) ausgelöst werden, lässt sich an
jedem angestrahlten Punkt näherungsweise die Elementzusammensetzung bestimmen
(AES, Auger-Elektronen-Spektroskopie).
Indem man sich auf die Rückstreuenergien einiger vorher bestimmter Elemente
setzt, lässt sich die Elementverteilung in einem Bereich z.B. vom Grundmaterial
durch die galvanischen Schichten hindurch bis zur Oberflächen bestimmen
(Auger-SIMS).
Die Auflösung ist anders als in der Lichtmikroskopie nicht durch die Wellenlänge
des sichtbaren Lichts eingeschränkt, sonder erst durch die viel kürzere der
energiereichen Elektronen. Damit lassen sich Vergrößerungen von bis zu Faktor
300.000 realisieren, bei einer Auflösung von 0,1nm, das ist 1/3000stel der
Wellenlänge von violettem Licht!
